Relatorio de MEV

UNIVERSIDADE FEDERAL DA PARAÍBA
CENTRO DE TECNOLOGIA
DEPARTAMENTO DE ENGENHARIA MECÂNICA

Aluno: Marcos Carvalho Bezerra
Disciplina: Materiais de Construção Mecânica I

MICROSCOPIA ELETRÔNICA DE VARREDURA (MEV)

1 - Introdução
Basicamente o principio de um microscópio eletrônico de varredura (MEV) consiste em utilizar um feixe de elétrons de pequeno diâmetro para explorar a superfície de um material solido (amostra), transmitindo sinal de um detector a uma tela, que nos mostra uma imagem da microestrutura do material.
A fonte de elétrons é chamada de canhão eletrônico e é composta basicamente por três elementos: filamento de tungstênio ou de hexaboreto de lantânio + cátodo + ânodo, o feixe de elétrons é gerado a partir de um efeito termoiônico que ocorre devido a interação do filamento com ânodo em uma tensão e corrente elétrica adequadas para determinado tipo de material, esse feixe de elétrons sai do canhão que direciona essa carga até a amostra, mas antes que ocorra a colisão de elétrons na superfície da amostra o feixe de elétrons deve estar no foco correto e quem é responsável por este parâmetro são as lentes eletromagnéticas. As lentes eletromagnéticas são geradas a partir de um campo elétrico e tem como função filtrar e focalizar o feixe de elétrons, essas lentes geram uma espécie de orifício que é chamado de spot, esse orifício é ajustado e pode chegar ao diâmetro mínimo de 4 nm, esse diâmetro é o que controla o foco do feixe. Todo funcionamento do MEV deve ser executado no vácuo, pelo motivo de moléculas de impurezas estarem presentes, essas moléculas de impureza geram distorções na imagem final da amostra e essas distorções são chamadas de aberrações.
Após a emissão do feixe de elétrons e o ajuste do mesmo, ocorre a colisão de elétrons na superfície da amostra, essa colisão inicial é gerada pelos elétrons primários que contem grande quantidade e energia, nesse fato pode acontecer duas situações: Os elétrons serão