Pulveriza o Cat dica

Universidade do Minho
Escola de Engenharia

Mestrado Integrado em Engenharia Mecânica

Complementos de Física
Pulverização catódica (sputtering)

Hélio João Oliveira Silva – 62081
João Pedro Silva Monteiro – 62090
Rafael Marques Silva – 62053
Rui Filipe Machado Sousa – 62065
Rui Jorge Alves Sá – 57787

Guimarães, 4 de Julho de 2014

RESUMO
No presente trabalho será abordado o tema de deposição de material em superfícies
“sputtering”, pulverização catódica. Algumas temáticas sobre os seus tipos de utilização serão também apresentados em conformidade com possíveis aplicações associadas. Questões como configurações a adotar para a realização do processo como fontes de potência, geometria do alvo e gás de trabalho serão abordadas.
Uma vez que se trata de um processo de revestimento e acabamento superficial, a sua respetiva aplicação é também uma questão relevante a ser abordada. Com isto sendo que nenhuma técnica se revela ideal, apresentam-se também algumas vantagens e desvantagens das possíveis combinações deste tipo de revestimento superficial.

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ABSTRACT
In the present report the theme of sputtering, material deposition on surfaces will be stressed.
Some of its techniques would be presented as well as the possibilities of appliance associated to these ones. Possible configurations to accomplish the process, such as, power sources, target geometry, and working gas will be broached.
Knowing the fact that this is a covering surface process, some of the applications are a very relevant matter to be covered. Since there is no technique consider as ideal, some advantages and disadvantages will be present.

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Índice
Resumo ................................................................................................................................ i
Abstract .............................................................................................................................. ii
Introdução