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MEMS - Sistemas Microeletromecânicos por Henrique Torres em sexta-feira, 10 de outubro de 2014.

Desenvolvidos a partir dos anos 80, sistemas microeletromecânicos (ou simplesmente MEMS – Micro Electro Mechanical Systems) vêm apresentando rápida evolução em virtude da vasta gama de possíveis aplicações e são considerados uma das tecnologias mais promissoras do século XXI. Podendo ser utilizada de celulares a projetos aeroespaciais e biotecnologia, essa classe de dispositivos causou uma revolução eletrônica nas últimas décadas através da combinação da microeletrônica baseada em silício com a tecnologia de microusinagem. Assim, o objetivo deste artigo é introduzir os MEMS, esta fascinante tecnologia, capaz de modificar a vida como a conhecemos ou apenas agregar funcionalidades que tornarão seu sistema embarcado realmente embarcado.

MEMS: Fusão entre eletrônica e mecânica em escala micrométrica Criado utilizando técnicas que se tornaram a base para a difusão desta tecnologia nos dias atuais, o primeiro dispositivo MEMS foi desenvolvido em 1967 pelo engenheiro americano Harvey C. Nathanson. Esse dispositivo, conhecido como Transistor de Porta Ressonante [1], tratava-se, resumidamente, de um sintonizador e seletor de frequências ativado eletrostaticamente, utilizado em circuitos de sintonia RF. Esta invenção o concedeu uma patente, dentre as mais de 50 existentes em seu nome, no ramo da eletrônica de estado sólido.

Figura 1: Geometria e conexões elétricas do Transistor de Porta Ressonante [1]

No entanto, somente ao final dos anos 80 é que a tecnologia MEMS realmente alavancou. Isso deve-se à evolução e ao amadurecimento de técnicas de fabricação da microeletrônica que acabaram despertando a criatividade de pesquisadores sobre a possibilidade de se inserir em um chip mais do que somente funções eletrônicas. Esses fatores, por sua vez, suscitaram na indústria o interesse por este tipo de dispositivo, graças à identificação de potenciais aplicações em áreas