Planejamento fatorial de cinco níveis

Considere um planejamento 25 realizado para otimizar os parâmetros o processo de produção de SiNx (nitrido de silicone) (Nybergh, 1999-Physica Scripta, vT79, 266-271).Os fatores estudados foram:

1-Razão da vazão silana/amônia (de 0.1 a 0.9)
2-Vazão total de gás (de 40 a 220 sccm)
3-Pressão (de 300 a 1200 mtorr)
4-Temperatura (de 300 a 460K)
5-Potência (de 10 a 60W)

A resposta medida foi a taxa de crescimento do nitrido de silicone. A seguinte matriz de planejamento, com as respectivas respostas, foi obtida:

[pic]

1) Para o planejamento fatorial completo de dois níveis e 5 fatores considerados (25), quantos são os efeitos principais, quantos são os de interação de 2, 3, 4 e 5 fatores)?

Resposta:
No planejamento fatorial 25, tem-se 5 efeitos principais, 10 de interação de 2 fatores, 10 de interação de 3 fatores, 5 de interação de 4 fatores e somente 1 de 5 fatores.

Os efeitos principais são 5:
1-Razão da vazão silana/amônia (de 0.1 a 0.9)
2-Vazão total de gás (de 40 a 220 sccm)
3-Pressão (de 300 a 1200 mtorr)
4-Temperatura (de 300 a 460K)
5-Potência (de 10 a 60W)

Na tabela abaixo encontram-se todos os efeitos.
|Efeitos principais |Efeitos de interação |
| |2 fatores |3 fatores |4 fatores |5 fatores |
|1 |1*2 |1*2*3 |1*2*3*4 |1*2*3*4*5 |
|2 |1*3 |1*2*4 |1*2*3*5 | |
|3 |1*4 |1*2*5 |1*2*4*5 | |
|4 |1*5 |1*3*4 |1*3*4*5 | |
|5 |2*3 |1*3*5 |2*3*4*5 | |
| |2*4