filmes finos

Cap 10

Prop elétricas de filmes finos tem sido uma área de importante interesse. Com o desenvolvimento do estado solido criou-se importantes papeis para o filmes finos como condutores elétricos, isolantes e dispositivos. para condutores de filme fino elétricas, e dispositivos. O que antes era realizado com grandes componentes e sistemas elétricos discretos é agora de forma mais eficiente e fiável conseguida com microscópico integrado baseado em chips de circuitos de película fina. Independentemente do tipo de material envolvido, uma corrente elétrica de densidade J(amps/cm2) é dito ao fluxo quando uma concentração de transportadores n (number/cm3) com movimentos de carga Q com velocidade u (cm / s) passado um determinado plano de referência em resposta a um campo eléctrico aplicado e (V / cm). A magnitude do fluxo de corrente é expressa pela relação simples:
J= nqv
A mobilidade µ é também conhecida como velocidade por unidade de área;
J=nqµξ
Pela lei de Ohm , J=ξσ, sendo , σ= condutividade e σ =1/ρ=nqµ
Caracteristicas das propriedades elétricas de filmes finos que dao características únicas a eles:

1. Efeitos do tamanho
-Exemplos envolvidos nas dimensões incluem espalhamento superficial e tunelamento quântico de portadores de carga.
2. Método de preparação do filme Ele não pode ser suficientemente tensionado, pois as propriedades eléctricas dos filmes metálicos e de isoladores são uma função de como eles são depositados ou crescidos e dependem das condições empregadas, variando graus de perfeição cristalina, concentrações de defeitos estruturais e eletrônicos, porosidade, morfologia dos grãos, estequiometria, composição química, etc. Isolantes res (por exemplo, óxidos, nitretos) são particularmente propensos a estes efeitos e metais são menos afetados.