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PREPARAÇÃO DE AMOSTRAS METÁLICAS E DE SEMICONDUTORES
PARA OBSERVAÇÃO POR MICROSCOPIA ELETRÔNICA DE VARREDURA

-- Introdução

O Microscópio Eletrônico de Varredura (MEV) é um dos principais instrumentos para a caracterização dos matérias metálicos e semicondutores, a observação desses materiais fornece uma série de informações relevantes sobre a composição e a constituição estrutural dos mesmos.
A necessidade de aprofundar o conhecimento sobre a microestrutura dos metais e materiais semicondutores exigiu imagens com aumentos mais significativos do que aqueles obtidos por microscopia óptica, neste sentido, também aumentou a complexidade dos procedimentos para a preparação das amostras.

-- Preparação de Amostras

A preparação da amostra deve ser executada em ambiente apropriadamente limpo. Recomenda-se utilizar água corrente ou banho com ultra-som para limpar a amostra e ar quente ou sopro de nitrogênio para secá-la. A água corrente é necessária para evitar que as partículas retiradas da superfície, durante os procedimentos de corte, lixamento e polimento, se instalem na superfície, contaminando a mesma e afetando a superfície a ser observada.

-- Etapas de Preparação

A preparação de amostra metálica ou de semicondutores para MEV podem ser divididos em 5 etapas: Seleção da Amostra, corte, embutimento, lixamento e ataque químico da superfície.

- Seleção
A dimensão da amostra a ser analisada no MEV deve ser a primeira etapa a ser considerada na triagem. A maioria dos microscópios eletrônicos possui suporte metálico com dimensões entre 100 a 200 mm de diâmetro.
- Corte
O corte para a obtenção de amostras pode ser realizado em máquinas com discos abrasivos comuns ou diamantados. Após o corte, a amostra deve ser lavada para eliminação dos resíduos.

- Embutimento
No caso de amostras pequenas e/ou delgadas, é necessário fixá-las para facilitar a preparação e auxiliar no manuseio durante as etapas de lixamento, polimento e ataque químico. As