Detetores em Metroscopia Eletrônica

Detetores em
Microscopia Eletrônica
Universidade Federal de São Carlos
Departamento de Física

Interação Elétron-Amostra
 Porque elétrons?
 Resolução
 Radiação Ionizante

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Interação Eletron-Amostra
Profundidade das informações dos sinais secundários

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Detetor de Elétrons Secundários
 Elétrons de Alta e

Baixa Energia
 Grade Coletora
 Cintilador
 Fotomultiplicador

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Detetor de Elétrons Secundários

Detetor de Elétrons Secundários
 Dínodos: Emissão Secundária

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Detetor de Elétrons Secundários
 Alto ganho

 Baixo ruído
 Pouco resistente
 Custo elevado

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Detetor de Semicondutor

●

Dois tipos
–

–

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Dopagem simples
Barreira Superficial

Detetor de Semicondutor
●
●
●

Facilmente fabricável
Baratos para substituir
Facilmente moldáveis
–

●

Alto ganho de sinal
–

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Útil para analise de amostras magnéticas
Um elétron de 100 keV produz cerca de 2x104 elétrons no detetor

Detetor de Semicondutor
●

Falho quanto a variação de intensidade
–
–

●

Alto ruído de fundo
–

–
●

●

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Alta capacitância
Gargalo por volta de 100 kHz
Atividade térmica
Luz incidente

O feixe pode danificar o detetor
Insensível a elétrons de baixa energia

CCD
(Dispositivo de carga acoplada)
●

●

●

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Definição média de
4k x 4k pixels
Pixels com dimensões entre 10 e 15 µm
Alta eficiência

CCD
(Dispositivo de carga acoplada)

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CCD
(Dispositivo de carga acoplada)
●

●
●

●

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Tempo médio de resposta de 0.001 segundos, muito abaixo da média dos monitores, 0.033
Se resfriados, o ruído tende a zero
Resposta linear a mudanças e uniformidade quanto ao comportamento de vários pixels
“Blooming” ainda é um problema, embora muito pequeno Faraday Cup

●

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Utilizado para determinar a corrente do feixe

Faraday Cup

a

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Espectroscopia de Dispersão de
Energia - EDS
 Desenvolvido na década de 60;
