Projeto de máscaras com dispositivos e estruturas de teste usando o microwind.

FACULDADE DE TECNOLOGIA SÃO PAULO
MATERIAIS, PROCESSOS E COMPONENTES ELETRÔNICOS

LEONARDO PRIMANTE DOS SANTOS

PROJETO DE MÁSCARAS COM DISPOSITIVOS E
ESTRUTURAS DE TESTE USANDO O MICROWIND.

São Paulo
2008
LEONARDO PRIMANTE DOS SANTOS

PROJETO DE MÁSCARAS COM DISPOSITIVOS E
ESTRUTURAS DE TESTE USANDO O MICROWIND.

Trabalho de conclusão de curso apresentado à Faculdade de Tecnologia São Paulo para obtenção do título de Tecnólogo em Materiais, Processos e Componentes Eletrônicos.

Orientadores:
Prof. Dr. João Antonio Martino
Prof. Dr. Victor Sonnenberg

São Paulo
2008
Dedico este estudo

Aos meus pais,
Antonio dos Santos Junior e
Rosangela Aparecida Primante dos Santos

Ao meu irmão,
Fernando Primante dos Santos

A minha tia,
Suely dos Santos Gabriel (in memorian)

AGRADECIMENTOS

• Aos Profs. Dr. Victor Sonnenberg e Dr. João Antonio Martino pela cuidadosa e dedicada orientação.
• Ao Prof. Dr. Luís da Silva Zambom pelas informações, sugestões e colaborações prestadas quanto ao layout das máscaras.
• Ao colega do LSI – EPUSP, Vinícius Heltai pelas sugestões e colaborações prestadas.
• Aos meus alunos e amigos do CEETEPS, da Escola Técnica Estadual Albert Einstein pela constante motivação em executar este trabalho e apresentá-lo ao curso técnico em eletrônica.
• À minha namorada, os meus familiares pelo apoio e compreensão durante o decorrer deste trabalho.
• A todos aqueles que de alguma forma contribuíram para a realização deste trabalho e involuntariamente foram omitidos.

RESUMO

O trabalho foi desenvolvido para atualizar a tecnologia das máscaras de processo de construção dos dispositivos MOS, até então utilizadas desde a década de 1990 no Laboratório de Sistemas Integráveis.
A partir deste trabalho, projetos de novas máscaras foram feitos e adaptados de acordo com as novas necessidades, utilizando o software de layout de dispositivos MOS chamado Microwind que consiste em trabalhar com dimensões mínimas