Microscopa

1. INTRODUÇÃO
Este trabalho trata do assunto sobre microscopia óptica como uma técnica para caracterização e inspeção de padrões em microeletrônica. Apesar desta ser uma das mais antigas técnicas, o microscópio representa uma grande ajuda na verificação de microcircuitos, já que a visão humana tem suas limitações. O Microscópio vem de duas palavras gregas e quer dizer "pequeno" e "observar". Não se sabe exatamente quem o inventou. Dizem que o microscópio foi inventado por Zacarias Janssen, óptico holandês; é certo porém que ele deu um ao arquiduque da Áustria de presente, em 1590. Depois deste, muitos outros modelos foram aperfeiçoados para as mais variadas aplicações, que vão desde a biologia até, mais recentemente, a microeletrônica e a astronomia (em observação minuciosa de fotos tiradas com telescópios potentes). O avanço da eletrônica e engenharia em si, tem permitido hoje em dia que se produzam instrumentos ópticos de grande precisão e comodidade para quem os utiliza. Vale citar como exemplo, um microscópio que faz uso de uma tela de cristal líquido colorido de alta resolução para visualização das amostras, e cujo sistema óptico fica restrito a uma espécie de caneta óptica ligada por um cabo óptico (fibra óptica) ao sistema de processamento digital da imagem. As dimensões geométricas de estruturas implementadas por processos de microeletrônica estão diretamente ligadas ao desempenho do circuito integrado. Assim, no controle da fabricação de circuitos integrados e dispositivos microeletrônicos, é necessário verificar e medir a geometria das estruturas construídas na superfície dos wafers. Devido à alta integração, esse controle torna-se impossível de ser feito a olho nu ou mesmo com uma lupa simples. Assim na verificação de produtos, o microscópio ajuda à visão humana a inspecionar os padrões das lâminas de semicondutores, na fabricação dos circuitos integrados e dispositivos de microeletrônica de todos os tipos, o microscópio é necessário para verificar e