Microfabrico Litografia Suave

Mestrado Integrado em Engenharia Mecˆ anica microFabrico
2013/2014
T´ ecnicas de fabrico de microcanais

Relatorio de microFabrico — Vers˜ao electr´onica
T´ecnicas de fabrico de microcanais

Relat´ orio de microFabrico — Vers˜ao electr´onica
T´ecnicas de fabrico de microcanais

Lista de S´ımbolos
PDMS

Polidimetilsiloxano

UV

Ultravioleta

i

Relat´ orio de microFabrico — Vers˜ao electr´onica
T´ecnicas de fabrico de microcanais

Conte´ udo Lista de S´ımbolos

i

Conte´ udo ii

Lista de Figuras

iii

1 Introdu¸ c˜ ao

1

2 Materiais e equipamentos
2.1 Materiais . . . . . . . . . . . . . . . .
2.1.1 Fotom´ ascara . . . . . . . . . .
2.1.2 Base . . . . . . . . . . . . . . .
2.1.3 Resina fotoresistente . . . . . .
2.1.4 PDMS . . . . . . . . . . . . . .
2.2 Equipamentos . . . . . . . . . . . . . .
2.2.1 Spin coater . . . . . . . . . . .
2.2.2 Cˆ amara UV . . . . . . . . . . .
2.2.3 Forno ou placa de aquecimento
2.2.4 Prensa . . . . . . . . . . . . . .
2.2.5 Gerador de corrente . . . . . .

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3 Descri¸ c˜ ao do processo
3.1 Desenho do microcanal . . . . .
3.2 Fotolitografia suave . . . . . . .
3.3 Molda¸c˜ ao dos microcanais . . .
3.3.1 Variantes ao processo de
3.4 Colagem por plasma . . . . . .

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. . . . . . molda¸c˜ao . . . . . .

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