MEV_Apostila.pdf

UNIVERSIDADE FEDERAL DE SANTA CATARINA – UFSC
DEPARTAMENTO DE ENGENHARIA MECÂNICA – EMC
LABORATORIO DE MATERIAIS – LABMAT
LABORATÓRIO DE CARACTERIZAÇÃO MICROESTRUTURAL E ANÁLISE DE IMAGENS – LCMAI

MICROSCOPIA ELETRÔNICA DE
VARREDURA

Profa. Ana Maria Maliska

Microscopia Eletrônica de Varredura e Microanálise

MICROSCOPIA ELETRÔNICA
DE VARREDURA E MICROANÁLISE
1. Introdução
1.1. Preliminares
1.2. Introdução
1.3. Escopo do Trabalho

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2. Princípios Básicos de Funcionamento do Microscópio Eletrônico de Varredura
2.1. Introdução
2.2. Breve Histórico
2.3. Componentes do MEV
2.4. Coluna Óptico-eletrônica
2.4.1. Canhão de Elétrons
2.4.2. Características da Fonte
2.5. Sistema de Lentes
2.6. Demagnificação do Feixe Eletrônico
2.7. Aberrações das Lentes
2.8. Varredura do Feixe de Elétrons

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3. Formação, Processamento e Interpretação da Imagem
3.1. Introdução
3.2. Interações Elétrons-amostra
3.3. Origem dos Sinais
3.4. Imagem por Elétrons Secundários
3.4.1. Distribuição de energia
3.4.2. Dependência dos Elétrons Secundários com a composição da

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amostra e a energia dos ep

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3.4.3. Profundidade de escape dos elétrons secundários
3.4.4. Resolução espacial
3.4.5. Detecção dos elétrons secundários
3.4.6. Mecanismos de contraste
3.5. Imagem por Elétrons Retroespalhados
3.5.1. Distribuição de energia
3.5.2. Profundidade de Escape
3.5.3. Resolução Espacial
3.5.4. Detecção dos Elétrons Retroespalhados
3.5.5. Mecanismos de Contraste
4. Microanálise por Energia Dispersiva
4.1. Introdução
4.2. Breve Histórico

Profª. Ana Maria Maliska

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Microscopia Eletrônica de Varredura e Microanálise

4.3. Origem dos Sinais
4.3.1. Radiação Contínua
4.3.2. Radiação Característica
4.3.3. Energia Crítica de Ionização
4.3.4. Energia dos Raios-X Característicos
4.3.5. Elétrons Auger
4.4.