Mestre

INSTITUTO TECNOLÓGICO DE AERONÁUTICA - ITA
LABORATÓRIO DE PLASMAS E PROCESSOS - LPP
DEPARTAMENTO DE FÍSICA
LABORATÓRIO DE PLASMAS E PROCESSOS - LPP
DEPARTAMENTO DE FISICA

Utilização de plasma micro-ondas para tratamento superficial e corrosão de materiais poliméricos utilizados em foguetes e satélites.

Estudo da produção de oxigênio atômico em plasma de micro-ondas.

Projeto n°: 559920-2010-5
Coordenador:Prof. Dr. Argemiro Soares da Silva Sobrinho
Bolsista DTI-B: Ms. Eduardo Cezar Barbosa de Barros de Aragão

Introdução
Motivação:

Aparato Experimental
• Posição de coleção dos espectros(Centro da cavidade, 14 e 20cm de distância da cavidade)
•Potência – [400W, 1100W]
•Fluxo/pressão –
[50sccm/14mTorr,
150sccm/25mTorr]

Material e Métodos
Método usado Actinometria: Técnica de diagnóstico de plasma, que permite avaliar a densidade relativa de átomos presentes no plasma através de seu espectro de emissão óptica.
Principais condições necessárias para o uso da Actinometria
1.

A primeira suposição é de que ambas espécies sejam excitadas, para um dado estado, por impacto eletrônico direto.

2.

Os processos de decaimento das espécies envolvidas no estudo devem ser por emissão radiativa.

3.

A presença do gás actinometro não deve perturbar as condições da descarga.

Material e Métodos
•

A intensidade da linha emitida IX em uma transição , pode ser dada por:

•

Com o intuito de eliminar a dependência da densidade eletrônica, a intensidade da linha emitida deve ser dividida pela intensidade da linha escolhida do gás actinômetro, resultando em

Espectro típico. Sem correções Produção de Oxigênio atômico em um plasma de microondas. Analisamos as intensidades relativas das linhas de emissão de uma dada espécie e do actinometro, geralmente o argônio
Oxigênio:
Argônio:

(nanometros)

Produção de Oxigênio atômico em um plasma de microondas. Actinometria
Centro da cavidade

14 cm do