Atendimento em Microscopias: Microscópio Eletrônico de Varredura

Raissa Lima de Oblitas

Atendimento em Microscopias
Microsc´pio Eletrˆnico de Varredura o o
Relat´rio final do Projeto de Inicia¸˜o Cient´ o ca ıfica “Atendimento em Microscopias”, iniciado em julho de 2012, apoiado pela Pr´-Reitoria de Cultura e o Extens˜o. a Orientadora:

Prof. Dra. Maria Cecilia B. S. Salvadori
Co-orientadora:

Dra. Fernanda de S´ Teixeira a Instituto de F´ ısica ˜
Universidade de Sao Paulo

Laborat´rio de Filmes Finos o Julho de 2013

Sum´rio a Introdu¸˜o . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ca p. 3

Objetivos

. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .

p. 3

Introdu¸˜o te´rica . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ca o

p. 3

MEV . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .

p. 3

EDS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .

p. 7

Materiais e M´todos . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . e p. 7

Opera¸˜o e Alinhamento . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ca p. 8

Resultados . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .

p. 8

Alto V´cuo . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . a p. 8

Modo Environmental . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . p. 11
EDS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . p. 11
Conclus˜o . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . p. 14 a Bibliografia . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . p. 15
Outras atividades . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . p. 15
Apoio . . . . . . . . .