Apostila microscopia eletrônica

UNIVERSIDADE FEDERAL DE SANTA CATARINA – UFSC DEPARTAMENTO DE ENGENHARIA MECÂNICA – EMC LABORATORIO DE MATERIAIS – LABMAT LABORATÓRIO DE CARACTERIZAÇÃO MICROESTRUTURAL E ANÁLISE DE IMAGENS – LCMAI

MICROSCOPIA ELETRÔNICA DE VARREDURA

Profa. Ana Maria Maliska

Microscopia Eletrônica de Varredura e Microanálise

MICROSCOPIA ELETRÔNICA DE VARREDURA E MICROANÁLISE
1. Introdução 1.1. Preliminares 1.2. Introdução 1.3. Escopo do Trabalho 2. Princípios Básicos de Funcionamento do Microscópio Eletrônico de Varredura 2.1. Introdução 2.2. Breve Histórico 2.3. Componentes do MEV 2.4. Coluna Óptico-eletrônica 2.4.1. Canhão de Elétrons 2.4.2. Características da Fonte 2.5. Sistema de Lentes 2.6. Demagnificação do Feixe Eletrônico 2.7. Aberrações das Lentes 2.8. Varredura do Feixe de Elétrons 3. Formação, Processamento e Interpretação da Imagem 3.1. Introdução 3.2. Interações Elétrons-amostra 3.3. Origem dos Sinais 3.4. Imagem por Elétrons Secundários 3.4.1. Distribuição de energia 3.4.2. Dependência dos Elétrons Secundários com a composição da amostra e a energia dos ep 03 03 05 06 06 07 08 09 09 12 16 19 21 24 27 27 27 31 36 36 37 37 40 41 43 47 48 48 48 48 49 51 51 51

3.4.3. Profundidade de escape dos elétrons secundários 3.4.4. Resolução espacial 3.4.5. Detecção dos elétrons secundários 3.4.6. Mecanismos de contraste 3.5. Imagem por Elétrons Retroespalhados 3.5.1. Distribuição de energia 3.5.2. Profundidade de Escape 3.5.3. Resolução Espacial 3.5.4. Detecção dos Elétrons Retroespalhados 3.5.5. Mecanismos de Contraste 4. Microanálise por Energia Dispersiva 4.1. Introdução 4.2. Breve Histórico

Profª. Ana Maria Maliska

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4.3. Origem dos Sinais 4.3.1. Radiação Contínua 4.3.2. Radiação Característica 4.3.3. Energia Crítica de Ionização 4.3.4. Energia dos Raios-X Característicos 4.3.5. Elétrons Auger 4.4. Características da Radiação de Raios-X 4.4.1. Resolução Espacial 4.4.2. Direcionalidade do Sinal